衍射光學(xué)元件（Diffractive Optical Element，DOE）通常采用微納刻蝕工藝構(gòu)成二維分布的靜態(tài)衍射單元，每個衍射單元可以有特定的形貌、折射率等，對激光波前位相分布進(jìn)行精細(xì)調(diào)控。激光經(jīng)過每個衍射單元后發(fā)生衍射，并在一定距離（通常為無窮遠(yuǎn)或透鏡焦平面）處產(chǎn)生干涉，形成特定的光強分布。
產(chǎn)品參數(shù)
工作波長
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193nm-2600nm
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材質(zhì)
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熔融石英
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尺寸
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3mm-25.4mm
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分束維度
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一維到三維
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均勻度
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95%
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分離角度
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0.001°- 60°
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衍射效率
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64%-95%（根據(jù)要求定制）
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